氟化氫（HF）是一種重要的化工原料，具有極強(qiáng)的腐蝕性，劇毒。高精度ProCeas^®氟化氫（HF）分析儀專為準(zhǔn)確測(cè)量大氣和潔凈空間環(huán)境中低本底氟化氫而設(shè)計(jì)，具有檢測(cè)低限低、測(cè)量精度高、漂移小的特點(diǎn)。ProCeas^®氟化氫（HF）分析儀是一款完全預(yù)校準(zhǔn)的紅外激光光譜氣體分析儀，基于光反饋腔增強(qiáng)吸收光譜（OF-CEAS）來(lái)加強(qiáng)分析目標(biāo)的特異性、分辨性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。該分析儀能以更高的精度測(cè)量氟化氫氣體，具有較高的采集頻率（1Hz），25ml的測(cè)量腔室有利于在較低的氣體流速下獲得較高的周轉(zhuǎn)速率，更能保證獲得準(zhǔn)確的壓力和溫度控制，特殊設(shè)計(jì)的低吸附管路和測(cè)量腔能進(jìn)一步提高設(shè)備的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

       ProCeas^® 氟化氫（HF）分析儀是一套完整、可靠、耐用、易操作的高精度的在線HF氣體分析儀，可應(yīng)用化工園區(qū)、鋁廠、磚廠、水泥廠、玻璃廠、垃圾焚燒等環(huán)境監(jiān)測(cè)，也能用于半導(dǎo)體工業(yè)等生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生氟化氫氣體的實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。

技術(shù)原理

       腔增強(qiáng)吸收光譜（Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy, CEAS）是基于傳統(tǒng)光腔衰蕩光譜技術(shù)（Cavity Ring-Down Spectroscopy，CRDS）技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展的一種高靈敏度檢測(cè)技術(shù)。腔增強(qiáng)吸收光譜（CEAS）技術(shù)基于高品質(zhì)光學(xué)諧振腔的弛豫效應(yīng)，通過(guò)諧振來(lái)延長(zhǎng)有限腔體內(nèi)的光譜吸收有效路徑，依據(jù)鏡面反射率，其有效吸收路徑可達(dá)幾十千米，大大提高了檢測(cè)靈敏度。與傳統(tǒng)的CRDS不同，CEAS 測(cè)量的是經(jīng)過(guò)諧振腔的透射光強(qiáng)，而CRDS 測(cè)量的是光強(qiáng)的衰減時(shí)間。CEAS在保持測(cè)量精度的同時(shí)，無(wú)需對(duì)激光進(jìn)行快速關(guān)斷，使得光譜分析儀結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)潔、系統(tǒng)更為穩(wěn)定。光反饋（Optical-feedback，OF）是CEAS鎖定的一種有效方法。